三氯硅烷是一種無機化合物，化學式為SiHCl3。為無色液體，溶于苯、乙醚、庚烷等多數有機溶劑，主要用于制造硅酮化合物。

• 中文名

• 三氯硅烷

• 外文名

• trichlorosilane; Silicochloroform

• 化學式

• SiHCl3

• 分子量

• 135.452

• CAS登錄號

• 10025-78-2

• EINECS登錄號

• 233-042-5

• 熔    點

• -127 ℃

• 沸    點

• 32 至 34 ℃

• 密    度

• 1.342 g/cm3

• 外    觀

• 無色液體

• 閃    點

• -20 ℃（OC）